Dies ist eine der größten und kritischsten Anwendungen. Der gesamte Halbleiterherstellungsprozess ist auf die Reinheit und Stabilität von Quarzglas angewiesen. Es wird zur Herstellung entscheidender Komponenten wie Quarzrohre, Wafer-Boote/-Carrier, Ätzkammern und Prozesskammern verwendet. Da es extremen Temperaturen und aggressiven chemischen Ätzprozessen standhalten kann, ohne die Siliziumwafer zu kontaminieren, ist es für die Herstellung integrierter Schaltungen unverzichtbar.
